产品优势：
可配置8腔体、12腔体和16腔体，单chamber占地面积更小
具有双面清洗能力，可配置多种化学液：
dhf,sc1,sc2,dio3,h2so4,ipa,dsp,st250,ekc等
完全自主国产化设备，搭配芯源高速自研机械手
sc1/sc2在线及时混合dms，可使用多种浓度配比
液体流量一键设定，闭环反馈自动调节
chamber自动清洗，减少pm时间
